高機能・軽量・低価格
片手でもラクに持てるコンパクトなチャージプレートモニター
現場でのイオナイザーの点検・チェックに最適
ハンディタイプ・らくらく簡単操作
コンパクトで正確なチャージプレートモニターです。
静電気除去装置の除電性能(除電時間)測定およびイオンバランス電位測定を簡単に行います。
片手でもラクに持てるコンパクトサイズ・軽量なため現場測定に最適です。
静電気除去装置の定期点検、選定、評価等にご使用頂けます。
■特長
●コンパクト、軽量、簡単操作。しかも充電式バッテリーでライン測定に便利。
●ワンプッシュで減衰時間、イオンバランス測定を開始するオートモード装備。イオナイザの評価や管理の効率アップ。[SAVE]ボタンで最大1000件の測定値を内部メモリに保存。
●各タイプのイオナイザに応じて減衰時間、イオンバランスの測定時間が選択可能。
●減衰時間測定終了電圧(100V~5Vまで、5V単位)設定ができ、各タイプのイオナイザや静電気対策商品の評価に最適。
●アナログ出力を標準装備。データーロガに接続すればグラフ化も可能で、測定後の報告書も簡単作成。
●標準プレートはANSI/ESD-STM3.1-2000に準拠。
■用途
●各タイプのイオナイザ評価及び管理用
●静電気対策商品の評価用(導電床のストロール法)
●工具の電荷減衰測定用
●静電気対策の教育用
■減衰時間測定
設定された測定時間・測定終了電圧で+・-の 両極性における減衰時間を測定・記憶します。
■イオンバランス測定
設定された測定時間の間、連続して測定。
平均値、ピーク値(最大値)、バレー値(最少値)を記録します。
■測定プレート/MC25PM-LPSAN
標準プレートはANSI/ESD-STM3.1-2000に準拠の150mm角プレートです。
■アナログ信号出力
アナログ出力を標準装備
データーロガーに接続すればイオンバランス振幅も波形で更に見易くなります。
■データセーブ・データ転送
オートモードでは、測定終了後、「SAVE」ボタンを押すことで測定したデータを 内部メモリに最大1000件まで記憶出来ます。
また、USBケーブルを使用して、記憶したデータをお使いのパソコンに「CSV」 形式でダウンロードすることが出来ます。
複数台の静電気除去装置の定期点検が簡単に行え、測定データのパソコンへの入力作業の低減が可能です。
■使用方法
静電除去装置の除電性能(減衰時間)・イオンバランス電位測定
●マニュアルモードとオートモードの2つの測定モードを選べます。
マニュアルモードは、個々の測定(減衰時間・イオンバランス)を行う場合に使用するモードです。
オートモードでは、マニュアルモードで設定した測定条件に基づいて、『PLATE CONTROL』ボタンを1回押すだけで、 除電性能(減衰時間)・イオンバランスの測定が連続して自動的に行えるモードです。
■マニュアルモード(プラス/マイナス減衰時間測定)
■マニュアルモード(イオンバランス電位測定)
■ボタン名称
■オートモード(プラスマイナス減衰時間・イオンバランス電位測定)
■イオンバランス振幅測定
パルスDCあるいはACタイプのバーで生成されるイオンは、プラスイオンとマイナスイオンが交互に生成されるため、帯電物は一旦0V付近に除電されたあと、プラスとマイナスの帯電を繰り返します。
この電圧の振れをイオンバランス振幅(イオンバランススウィングとも言います)と呼び ます。
MC25EA-1200VNは、イオンバランスの測定時間内の平均値、最大値(ピーク値)、最小値(バレー値)を測定します。
一般的にイオンバランス(オフセット電圧)と言えば、このイオンバランス振幅の中心値を指すことが多いですが、上図で示すピークオフセット電圧が高すぎると重大な生産障害を起こすことがあります。
そのため、静電気に弱い素子を扱う半導体産業においては、除電時間(ディケィタイム)、イオンバランスと共にこのピークオフセット電圧を管理することも重要です。
■イオンバランス測定
■本体寸法図
■測定プレート寸法図
■表示:
①LCD表示
電圧・時間を3桁のデジタルで表示
エラー・バッテリー残量・モードの表示
イオンバランス測定時のバーグラフ表示 モード表示
(Au,Ma,Pc,ib[IonBalance],±dE[Decay],ERROR)
②LED表示
HV OUT:高電圧をプレートに供給しているときに点灯
GND:プレートが接地されているときに点灯
+Decay,-Decay,IB:ボタン内のLEDで測定しているモードを表示
CHARGE:内蔵バッテリーに充電しているときに点灯。赤(充電中)、緑(充電完了)
■仕様
測定モード:
マニュアルモード
①イオンバランス測定モードプレート電圧は平均値表示(20ms毎に測定した値の最大値・最小値を除いた平均値) 0.2s:8ポイントのデータの平均を表示
1s:48ポイントのデータの平均を表示 5s:248ポイントのデータの平均を表示 10s:498ポイントのデータの平均を表示 測定時間設定(10sec,30sec,60sec,連続)
設定した測定時間内の平均値・ピーク値・バレー値を表示
②減衰時間測定モード
プレート電圧表示は平均値表示(20ms毎に5ポイント測定した値の最大値・最小値を除いた平均値) 減衰時間の表示(Fastモード:0.1sec~99.9sec,Slowモード:100sec~300sec)
測定時間設定(10sec,30sec,60sec,120sec,300sec) 極性毎の測定(正負の各極性で減衰時間を測定) 測定終了電圧設定(5V~100Vまで5Vおきに設定可能)
■オートモード(自動測定)
●イオンバランス測定:イオンバランス測定モードで設定した測定時間(連続は120s)内の平均値・ピーク値(最大値)・バレー値(最小値)を記憶
●減衰時間測定:減衰時間測定モードで設定した測定時間・測定終了電圧で測定して正負の極性の減衰時間を記憶
●データセーブ:測定終了後、[SAVE]ボタンで内部メモリに測定値を記憶(最大1000件) 記憶したデータはUSB(Mini-B)端子よりパソコンに[CSV]形式でダウンロードが可能
■本体仕様
品番 |
MC25EA-1200VN |
最大供給電圧 |
±1200V |
測定精度 |
±10% ±1digit(指示値) |
インターフェース |
USB2.0に準拠 |
アナログ出力 |
電圧出力(負荷抵抗 20kΩ以上)
プレート電圧 1V/出力電圧 1mV (0.001V) |
外部接続端子 |
①プレートセンサー信号用コネクタ
②高電圧コネクタ(プレートセンサーに高電圧を供給)
③USB(Mini-B)端子
(データの送信・バッテリー充電:パソコンまたは専用AC/DC電源で使用)
④アナログ出力端子(ミニジャック φ3.5)
⑤接地(GND)端子(バナナジャック) |
電源 |
内蔵バッテリーによる方式
USB(Mini-B)端子にパソコンまたは専用AC/DCアダプター
を接続して使用する方式 |
最大動作時間 |
約30時間(イオンバランス連続測定時) |
外形寸法 |
117(W)×228(D)×47(H)mm |
重量 |
約410g |
オプション |
測定プレート/MC25PM-LPSAN |