日常点検の負担を軽減しました。
小型化・軽量化・LCD表示で見やすくなったガス検知部です。
●センサユニット交換方式の定置型半導体材料ガス検知部
●校正済みのセンサユニットをお届けしお手元で交換が可能なので、現場でのガス校正が不要
●NF3検知に対応
●Modbus(RS-485/Ethernet)に対応※Ethernet通信はPoEに対応
●CE規格、SEMI規格適合
■特長
●サンプリング流量の自動制御・目詰まり警報機能付き（特許登録済）
日常点検時の流量チェックが不要になります。
フィルターの目詰まりで配管抵抗が増えても自動的に所定量に戻します。
目詰まり警報が発生した場合はお知らせします。
●LCD表示で状態が一目瞭然
LCD表示部で、使用時のガス濃度、警報状態、エラーメッセージ等をわかりやすく表示。
機器の状態が一目でわかります。
●小型化・軽量化の実現
従来のコスモス式ガス検知部と比べ、約1/2の小型化・軽量化を実現。
設置場所をとらないコンパクトタイプです。
●センサユニットとサンプリングユニットの交換が簡単
内部配管とポンプが一体のユニット（サンプリングユニット）になっていますのでポンプ交換と同時に内部配管も新品になります。
●センサユニットの誤挿入防止機能付き
設定と異なるガス種のセンサユニットが挿入された場合、すばやく異常を知らせます。
●多様なメンテナンスモードが設定可能
メンテナンス中の用途に合わせて、アナログ出力内容を切り替えることが可能です。
●CE規格 SEMI規格適合
■システム接続例
■コスモス式とは
設置現場でのガス校正を不要とし、センサをリサイクルすることにより、ランニングコストを極力低減するコンセプトで開発されたガス検知警報装置のことです。
■コスモス式ガス検知部の特長
●センサユニットは校正済みで現場へお届けします。交換時はゼロ確認動作を行うのみで監視状態となります。クリーンルームを汚すガスの持ち込みは必要ありません。
●センサユニットは下取りさせて頂き、リサイクル工程で再生使用しますので従来方式に比べ低価格でご使用になれます。
●定期交換の必要なセンサユニットと、サンプリングユニットは工具なしで交換できます。
●機能部分は全てユニット形式になっており、ユニット交換が短時間で行えます。
●センサユニット・サンプリングユニットの交換時期は当社管理システムにより、安心管理でお手伝いします。
■センサユニットの交換方法
■見やすいLCD表示
■用途
半導体工場における半導体材料ガスの漏洩検知に
◆ポータブルタイプ（センサユニット交換方式）の半導体材料ガス検知部は XPS-7II
◆ポータブルタイプの半導体材料ガス探知器は XP-703DIII
◆信号配線を無線化する無線変換器は
■外形図
■デバイスネット変換ユニット
■仕様
| 検知原理 |
定電位電解式、熱線型半導体式、隔膜ガルバニ電池式 |
| 検知方式 |
ポンプ吸引式（0.5L/min 吸引流量 自動制御） |
| サンプリング配管※1 |
テフロン 外径6/内径4mm、配管距離は20m以内 |
| ガス濃度表示 |
液晶デジタル4桁表示（単位付き）20分割バーグラフ |
| 警報表示 |
・ガス警報（1段及び2段）
警報
：赤LEDランプ点滅
：液晶画面 1段目：ALARM1 2段目ALARM1、ALARM2表示
・流量低下警報（目詰まり表示及び警報）
目詰まり表示
：液晶画面 フローサインが低速回転
警報
：黄LEDランプ点滅
：液晶画面 FLOW表示及びフローサインが回転停止
・センサトラブル警報／センサ誤挿入警報
警報
：黄LEDランプ点滅
：液晶画面 SENS.表示
警報
：黄LEDランプ点滅
：液晶画面 CONV.表示 |
| 外部出力 |
・ガス濃度アナログ出力
DC4-20mA（電源のマイナスと共通）
・ガス警報接点（1段及び2段）
1a無電圧接点/自動復帰
・トラブル警報接点
オープンコレクタ/自動復帰 |
| 適合ケーブル |
制御用シールドケーブル（φ8～11mm）×2、3芯又は4芯 |
| 使用温度湿度範囲 |
0℃～40℃（但し、急激な変化のないこと）、30～85%RH（但し、結露なきこと） |
| 使用電源 |
DC24V±10% |
| 消費電力 |
約7W |
| 寸法 |
(W)62×(H)124×(D)143mm（オプションと突起部を除く） |
| 質量 |
約1.0kg |
| 取付方法 |
壁掛式 |
※1：テフロン推奨。但し吸着性の強いガスの場合、使用状況により異なるため別途お問い合わせ下さい
上記仕様は改良のため、予告なしに変更される場合があります。
■豊富なセンサユニット
メーカーのセンサテクノロジが生み出した、様々な半導体材料ガスに対応する豊富なセンサユニット。
| 品番 |
品名 |
| MC1GDA-SU815N-ASH3 |
センサユニット定電位電解式（アルシン 0.25ppm） |
| MC1GDA-SU815N-B2H6 |
センサユニット定電位電解式（ジボラン 0.5ppm） |
| MC1GDA-SU815N-CCI4 |
センサユニット定電位電解式（四塩化炭素 100ppm） |
| MC1GDA-SU815N-CIF3 |
センサユニット定電位電解式（フッ化塩素 1ppm） |
| MC1GDA-SU815N-Cl2 |
センサユニット定電位電解式（塩素 5ppm） |
| MC1GDA-SU815N-CO |
センサユニット定電位電解式（一酸化炭素 250ppm） |
| MC1GDA-SU815N-F2 |
センサユニット定電位電解式（フッ素 5ppm） |
| MC1GDA-SU815N-GeH4 |
センサユニット定電位電解式（ゲルマン 1ppm） |
| MC1GDA-SU815N-H2-1 |
センサユニット熱線型半導体式（水素 500ppm） |
| MC1GDA-SU815N-H2-2 |
センサユニット熱線型半導体式（水素 1000ppm） |
| MC1GDA-SU815N-H2S |
センサユニット定電位電解式（硫化水素 50ppm） |
| MC1GDA-SU815N-H2Se |
センサユニット定電位電解式（セレン化水素 0.25ppm） |
| MC1GDA-SU815N-HBr |
センサユニット定電位電解式（臭化水素 10ppm） |
| MC1GDA-SU815N-HCI-1 |
センサユニット定電位電解式（塩酸 25ppm） |
| MC1GDA-SU815N-HCI-2 |
センサユニット定電位電解式（塩酸 5ppm） |
| MC1GDA-SU815N-HF |
センサユニット定電位電解式（フッ化水素 10ppm） |
| MC1GDA-SU815N-NF3 |
センサユニット定電位電解式（フッ化窒素 100ppm） |
| MC1GDA-SU815N-NH3 |
センサユニット定電位電解式（アンモニア 100ppm） |
| MC1GDA-SU815N-O2 |
センサユニット隔膜ガルバニ電池式（酸素 25vol%） |
| MC1GDA-SU815N-O3 |
センサユニット定電位電解式（オゾン 1ppm） |
| MC1GDA-SU815N-PF3 |
センサユニット定電位電解式（リンフッ化物 10ppm） |
| MC1GDA-SU815N-PH3 |
センサユニット定電位電解式（ホスフィン 1ppm） |
| MC1GDA-SU815N-Si2H6 |
センサユニット定電位電解式（ジシラン 25ppm） |
| MC1GDA-SU815N-SiH2Cl2 |
センサユニット定電位電解式（シクロシラン 25ppm） |
| MC1GDA-SU815N-SiH4-1 |
センサユニット定電位電解式（シラン 25ppm） |
| MC1GDA-SU815N-SiH4-2 |
センサユニット定電位電解式（シラン 5ppm） |
