測定機器

半導体材料ガスの漏えいをすばやくキャッチ



■特長
●半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。
●ガス濃度の変化により、警報音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。
●1台でさまざまな半導体材料ガス（アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など）に対応。
●従来品より大幅に小型・軽量化を実現。手にスッポリと収まるコンパクトボディ。
●電池残量やポンプの状態など、機器の状態がわかりやすいLCD画面を搭載。
●アラームランプを正面と底面の2ヶ所に搭載し、作業中に警報がわかりやすい。
●保護等級IP22（JIS C 0920）相当※。　※レザーケース装着時


手にスッポリと収まるコンパクトボディ
1台でさまざまな半導体材料ガスに対応（アルシン・ホスフィン・ジボラン・シラン・水素など）
ごく微量なガスを検知可能　漏えい個所を見逃しません
アラームランプを2ヶ所に搭載
手元でランプが光るので、警報がわかりやすい
わかりやすいLCD画面を搭載　電池残量や警報音・操作音のON/OFFなどがわかりやすい



●小型・軽量
(W)38×(H)130×(D)32mm、重さ約190gのコンパクト設計で、手にスッポリと収まります。

●ごく微量のガス漏れを検知可能

●水素関連設備の保安に最適
水素を1ppmの低濃度で検知可能なので、漏えい個所を見逃しません。

●ポンプ自動停止機能を搭載
誤って水を吸引した際やアタッチメントの先端がふさがれた時など、異常を察知して自動的にポンプを一時停止し、故障を防ぎます。
その際、ポンプ復帰スイッチで通常検知に復帰できます。

●「自動ガス排気モード」機能搭載
電源を切る時（電源スイッチを3秒間押した時）に機器内にガスが残っていた場合、自動的に機器内のガスを排気してセンサへの悪影響を防ぎます。ガス抜きの必要はありません。

●保護等級IP22（JIS　C 0920）相当


■胸ポケット収納時


■各部名称





■仕様

品番	XP-703D3
検知対象ガス	半導体材料ガス (アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素)
検知原理	熱線型半導体式
ガス採気方式	自動吸引式
	アルシン	ホスフィン	ジボラン	シラン	水素
	AsH3	PH3	B2H6	SiH4	H2
検知可能漏洩量	2.53×10-7	1.52×10-7	1.01×10-7	2.53×10-7	5.07×-7
検知可能濃度	0.5	0.3	0.2	0.5	1.0
応答時間	10秒以内（探知可能濃度の3倍の濃度のガスに対して、感度設定[4]）
検知表示	断続音及びアラームランプの点滅
電源	単3形アルカリ乾電池2本
電池使用時間※1	約12時間（単3形アルカリ乾電池）[常温・常湿において]
保護等級※2	IP22相当
使用温湿度範囲	0℃～+40℃　85%RH以下（但し、結露なきこと）
寸法	(W)38×(H)130×(D)32mm（突起部を除く）
質量	約190g（電池、レザーケース含む）
付属品	レザーケース、ドレンフィルタ、交換用フィルタエレメント、 アタッチメント、点検ガス、ハンドストラップ、単3形アルカリ乾電池2本　等

※1 環境条件、使用条件、電池メーカーなどにより異なる場合があります｡
※2 レザーケース装着の場合。