商品詳細
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半導体材料ガス検知器(二酸化窒素)
商品番号：XD-303ND
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販売価格：Mail
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数量：
商品説明
定電位電解式センサーを使用しているので、選択性はもちろん、超高感度です。
アルシン、ホスフィン、シラン等、多くの半導体材料ガスを検知します。
読み取りやすいデジタル表示です。
※アルカリ電池も使用可能
※測定対象ガスによって、品番が変わりますのでご注意ください。
| 型 式 | ＸＤ－３０３ |
| 検知対象ガス | 下記に表示しております |
| 検知原理 | 定電位電解式 |
| 採気方式 | 自動吸引式 |
| 指示精度 | フルスケール±１０％±1デジット |
| 応答時間 | ６０％応答４０秒 |
| 使用温度範囲 | ０～４０℃ |
| 電 源 | 単2マンガン電池6本 |
| 電池使用時間 | マンガン電池使用時の場合約20時間 |
| サイズ（mm） | W86×H175×D140 |
| 重 量 | 約2.5㎏ |
品番 | 対象ガス | 検知範囲 | 最小目盛 | 警報設定値 |
ＸＤ－３０３NH | アンモニア | 0～100 | 1 | 50 |
ＸＤ－３０３SH | モノシラン | 0～25 | 0.1 | 5.0 ※１ |
ＸＤ－３０３DCS | ジクロルシラン | 0～25 | 0.1 | 5.0 ※１ |
ＸＤ－３０３SD | 二酸化硫黄 | 0～25 | 0.1 | 5.0 ※2 |
ＸＤ－３０３AH | アルシン | 0～1 | 0.01 | 0.20 ※2 |
ＸＤ－３０３AHL | 0～0.25 | 0.05 ※2 | ||
ＸＤ－３０３PH | ホスフィン | 0～1 | 0.01 | 0.30 ※2 |
ＸＤ－３０３BH | ジボラン | 0～3 | 0.01 | 1.00 ※2 |
ＸＤ－３０３BHL | 0～1 | 0.10 ※2 | ||
ＸＤ－３０３HSE | セレン化水素 | 0～3 | 0.01 | 1.00 |
ＸＤ－３０３GH | モノゲルマン | 0～3 | 0.01 | 1.00 |
ＸＤ－３０３FL | フッ素 | 0～5 | 0.1 | 1.0 ※3 |
ＸＤ－３０３CL | 塩素 | 0～5 | 0.1 | 1.0 ※3 |
ＸＤ－３０３ND | 二酸化窒素 | 0～10 | 0.1 | 3.0 ※3 |
ＸＤ－３０３CLF3 | 三フッ化塩素 | 0～1 | 0.1 | 0.20 ※2 |
ＸＤ－３０３HCL | 塩化水素 | 0～25 | 0.1 | 5.0 ※１ |
ＸＤ－３０３HF | フッ化水素 | 0～10 | 0.1 | 3.0 ※１ |
ＸＤ－３０３HBR | 臭化水素 | 0～25 | 0.1 | 3.0 ※１ |
※1 サービスレンジ ３０ｐｐｍまで表示
※2 サービスレンジ ３ｐｐｍまで表示
※3 サービスレンジ １５ｐｐｍまで表示