商品詳細
半導体材料ガス検知器
商品番号:WPXPS-7
商品説明
●センサユニットの交換により、1台で様々なガスを検知。
●メンテナンス時間とコストを大幅削減。
●ガス検知器の校正が不要です。
●小型軽量です。
■特長
●カセット式センサユニットでガス検知器の校正が不要。
カセット式センサユニットは構成済みでお客様へお届け。簡単に交換ができるので、持ち帰り点検校正や現場での校正作業が不要です。(センサユニットは6ヶ月交換です。)
●センサユニットを交換するだけで対象ガスの変更が可能。
本体が1台あれば、センサユニットの交換だけで様々な対象ガスに対応。ガス種・フルスケール・警報ポイントの設定は自動設定で、面倒な操作は必要ありません。
センサユニットの交換方法
①側面のセンサユニットカバーを開けます。
②センサユニットを取り出し、新しいセンサユニットを差込みます。センサユニットカバーを閉じれば交換終了です。
●メンテナンス時間・コストを大幅削減。
カセット式センサユニットを交換するだけなので、メンテナンス時間が必要ありません。もちろん校正作業も不要で、ランニングコストを大幅に削減できます。
●乾電池・AC電源での駆動が可能。
ACアダプタ(オプション)によりAC電源駆動も可能です。
●小型・軽量コンパクト設計だから両手作業も可能。
重量はわずか1.3㎏。ロングショルダーベルトの使用で両手作業も可能です。
●多彩な液晶表示機能と大きな見やすいデジタルLCD表示
<通常時>
①フローサイン:フローサインが回転して正常にサンプリングしていることを知らせます。
②ガス濃度表示:ガス種やフルスケールによってppm、ppbに対応します。
<警報時>
③アラームメッセージ:一段警報で「ARARM1」が、二段警報で「ARARM2」が点灯し、上部の赤色LEDも点滅。
④ガス濃度バーグラフ:フルスケールの5%で1目盛り。バーが右端まで延びるとフルスケールとなり、一目でフルスケールに対する現在のガス濃度がわかりますす。
●ロガー機能付きでパソコンでのでたー管理が可能です。
■外径図(単位mm)
■仕様
検知対象ガス | 半導体材料ガス |
検知原理 | 定電位電解式 |
ガス採気方法 | ポンプ吸引式 |
検知範囲 | 仕様による |
分解能 | フルスケールの100分の1表示 |
指示精度*1 | FS±10%以内 |
警報モード | 2段警報方式 |
警報方式 | ブザー(断続音)、アラームランプ点滅 |
応答時間*1 | 60秒以内(60%応答) |
濃度表示方式 | LCDデジタル表示 |
使用温度範囲 | 0~40℃ |
電源 | 単3形アルカリ乾電池4本*2 またはAC専用アダプタ(オプション) |
電池使用時間 | 連続12時間以上(アルカリ乾電池にて無警報時、20℃の場合) |
寸法 | 本体 W62×H150×D128㎜(突起部のぞく) |
重量 | 約1.3kg |
付属品 | ショルダーベルト、単3アルカリ乾電池4本、フィルタエレメント2枚 |
注)
*1同一測定条件下による
*2環境条件、使用条件、保存期間、電池メーカーなどにより異なる場合がある。
■センサユニット
●さまざまな半導体材料ガスに対応する豊富なセンサユニットです。
型 式 | 測定ガス名 | 化学式 | フルスケール | 警報設定値 | 単位 | |
1段目 | 2段目 | |||||
WPXDS-7AS | アルシン | AsH3 | 250 | 25 | 50 | ppb |
---|---|---|---|---|---|---|
WPXDS-7BH | ジボラン | B2H6 | 500 | 50 | 100 | ppb |
WPXDS-7CF | 三フッ化塩素 | ClF3 | 1 | 0.05 | 0.1 | ppm |
WPXDS-7CL | 塩素 | Cl2 | 5 | 0.25 | 0.5 | ppm |
WPXDS-7CO | 一酸化炭素 | CO | 250 | 12.5 | 25 | ppm |
WPXDS-7DC | ジクロルシラン | SiH2Cl2 | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
WPXDS-7DS | ジシラン | Si2H6 | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
WPXDS-7F2 | フッ素 | F2 | 5 | 0.5 | 1 | ppm |
WPXDS-7GH | ゲルマン | GeH4 | 1 | 0.1 | 0.2 | ppm |
WPXDS-7HB | 臭化水素 | HBr | 10 | 1.5 | 3 | ppm |
WPXDS-7HC | 塩化水素 | HCl | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
WPXDS-7HF | フッ化水素 | HF | 10 | 1.5 | 3 | ppm |
WPXDS-7HS | 硫化水素 | H2S | 50 | 5 | 10 | ppm |
WPXDS-7NH | アンモニア | NH3 | 100 | 12 | 25 | ppm |
WPXDS-7NO | 一酸化窒素 | NO | 100 | 12 | 25 | ppm |
WPXDS-7OZ | オゾン | O3 | 1 | 0.05 | 0.1 | ppm |
WPXDS-7PH | ホスフィン | PH3 | 1 | 0.15 | 0.3 | ppm |
WPXDS-7SE | セレン化水素 | H2Se | 250 | 25 | 50 | ppb |
WPXDS-7SH | シラン | SiH4 | 25 | 2.5 | 5 | ppm |
■オプション
品番 | 品名 | 価格 |
WPXDS-OP1 | AC専用アダプタ(AC100V/DC6V) | ¥mail- |
---|---|---|
WPXDS-OP2 | センサ専用通電台*1 | ¥mail- |
WPXDS-OP3 | ログデータ収集キット | ¥mail- |
*1本体の台数以上のセンサユニットを所有する場合必要