商品詳細
クリーンルーム用卓上除振台
商品番号:M124750C-0605AK
商品説明
SUS304搭載盤、集中排気仕様の自動高さ調整高さ調整バルブを備え、発塵対策万全のクリーンルーム対応の高性能卓上形除振台です。
(ジンバルピストンは装備されておりません。)
■特長
●ステンレス製搭載盤
搭載盤の表面はSUS304とし、クリーンルーム内部に塵を出す心配はありません。
また特殊制振構造により、優れた振動減衰特性を有しています。
●使用高さ53mm
さらに薄型になり、53mmと使いやすくなりました。
●集中排気仕様の自動高さ調整バルブ
自動高さ調整バルブの排気は一カ所にまとめられて、背面の集中排気口より付属のウレタンチューブを通って排出されますので、クリーンルーム内の空気を汚すことはありません。
●実績のある高性能空気ばねを採用
多くの実績を有する50シリーズと同じ特殊小型空気ばねを採用。
オリフィスによる大きな空気減衰とともに50シリーズと同じ優れた除振効果が得られます。
■用途
半導体検査用顕微鏡、液晶検査用顕微鏡 その他のクリーンルームで使用される精密機器
■共通仕様
■仕様
●ステンレス製搭載盤
搭載盤の表面はSUS304とし、クリーンルーム内部に塵を出す心配はありません。
また特殊制振構造により、優れた振動減衰特性を有しています。
●使用高さ53mm
さらに薄型になり、53mmと使いやすくなりました。
●集中排気仕様の自動高さ調整バルブ
自動高さ調整バルブの排気は一カ所にまとめられて、背面の集中排気口より付属のウレタンチューブを通って排出されますので、クリーンルーム内の空気を汚すことはありません。
●実績のある高性能空気ばねを採用
多くの実績を有する50シリーズと同じ特殊小型空気ばねを採用。
オリフィスによる大きな空気減衰とともに50シリーズと同じ優れた除振効果が得られます。
■用途
半導体検査用顕微鏡、液晶検査用顕微鏡 その他のクリーンルームで使用される精密機器
■共通仕様
固有振動数 | 上下:約2.5Hz |
レベリング方式 | 集中排気自動レベリング [0.3~0.7MPa(3~7kgf/cm2)の圧縮空気または窒素ガスで作動] |
搭載盤仕様 | 表面 SUS304 |
最大積載質量 | 120kg |
付属品 | フィルター付きレギュレーター ソフトナイロンチューブ6mm×3m ウレタンチューブ6mm×3m 管継手(R1/4) |
オプション | 小型コンプレッサー |
■仕様
品番 | 寸法(mm) (幅×奥行×高さ) |
製品質量 |
M124750C-0405AK | 400×500×53 | 22kg |
M124750C-0506AK | 500×600×53 | 29kg |
M124750C-0605AK | 600×500×53 | 29kg |
M124750C-0806AK | 800×600×53 | 44kg |