測定機器

■特長
●ステンレス製搭載盤
搭載盤の表面はSUS304とし、クリーンルーム内部に塵を出す心配はありません。
また特殊制振構造により、優れた振動減衰特性を有しています。

●使用高さ53mm
さらに薄型になり、53mmと使いやすくなりました。

●集中排気仕様の自動高さ調整バルブ
自動高さ調整バルブの排気は一カ所にまとめられて、背面の集中排気口より付属のウレタンチューブを通って排出されますので、クリーンルーム内の空気を汚すことはありません。

●実績のある高性能空気ばねを採用
多くの実績を有する50シリーズと同じ特殊小型空気ばねを採用。
オリフィスによる大きな空気減衰とともに50シリーズと同じ優れた除振効果が得られます。

■用途
半導体検査用顕微鏡、液晶検査用顕微鏡 その他のクリーンルームで使用される精密機器

■共通仕様

固有振動数	上下：約2.5Hz
レベリング方式	集中排気自動レベリング ［0.3～0.7MPa(3～7kgf/cm2)の圧縮空気または窒素ガスで作動］
搭載盤仕様	表面　SUS304
最大積載質量	120kg
付属品	フィルター付きレギュレーター ソフトナイロンチューブ6mm×3m ウレタンチューブ6mm×3m 管継手(R1/4)
オプション	小型コンプレッサー

■仕様

品番	寸法(mm) (幅×奥行×高さ)	製品質量
M124750C-0405AK	400×500×53	22kg
M124750C-0506AK	500×600×53	29kg
M124750C-0605AK	600×500×53	29kg
M124750C-0806AK	800×600×53	44kg