商品詳細
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シリコンウェハ温度測定用放射温度計
商品番号：M1241-IR20D6ZHCF4-C3
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販売価格：245,520円（税込）
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数量：
商品説明
●シリコンウェハ測定用の放射温度計です。
●測定波長0.9μm
●測定温度範囲485～1800℃
●高速応答1ms
●0.5mmの小スポット測定を実現
●2点レーザマーカで正確照準
■センサヘッド外形寸法図
■アンプユニット外形寸法図
■取付金具外形寸法(付属品）
■エアパージカラー外形寸法図（オプション）
■冷却ジャケット外形寸法図（オプション）
■内部配線図
センサヘッドのケーブルはあらかじめ配線されています。(3mケーブル)
電源と出力端子にケーブルを接続してご使用ください。
■共通仕様
| 品番 | M1241-IR20D6Zシリーズ |
|---|---|
| 測定温度範囲 | 485～1800℃（機種による) |
| 測定波長 | 0.9μｍ |
| 測定精度 | ±（読取値の0.3%＋2℃） （周囲温度23±5℃、放射率1.00、応答時間1秒にて） |
| 再現性 | ±（読取値の0.1%＋2℃） |
| 応答時間 | 1ms(90%応答) |
| 測定視野範囲 | 300:1/100:1(90%応答) |
| アナログ出力 | 4-20mA／0～20mA／0-5V／0-10V／熱電対J・K出力切替 |
| 信号処理 | ピークホールド/バレーホールド/アベレージング |
| 放射率補正 | 0.100～1.100 |
| 使用周囲温度 | センサヘッド：-40～85℃ ンプユニット0～85℃(レーザマーカ点灯時は～50℃) |
| 使用周囲湿度 | 10～95%RH（結露なきこと） |
| 保護構造 | IP65(NEMA-4) |
| 材質 | センサヘッド：ステンレス アンプユニット：亜鉛ダイキャスト センサヘッドアンプ間ケーブル3m |
| 電源電圧 | 8-36VDC/max.160ｍA |
| 出力インピーダンス | 電流（ループ抵抗500Ω以下） 電圧（負荷インピーダンス100KΩ以上） 熱電対（20Ω） |
| 外形寸法 | センサヘッド：φ49.3×100mm(M48×1.5mm） アンプユニット：89 mm x 70 mm x 30 mm |
| 質量 | センサヘッド：約600g アンプユニット：約420g |
センサヘッド取付ナットと取付金具は付属です。
出力ケーブルは3-5mmのシールドケーブル等を別途ご用意ください。
熱電対出力使用時の精度は±2.5℃または±1%
製品改良のため、仕様の一部を予告なく変更する場合があります。ご了承ください。
■タイプ
| 品番 | 測定温度範囲 | 測定視野範囲 | 価格 |
| M1241-IR20D6ZLSF-C3 | 485～1050℃ | φ7.3mm/1100mmにて | 廃番 |
|---|---|---|---|
| M1241-IR20D6ZLCF2-C3 | φ1mm/150mmにて | 廃番 | |
| M1241-IR20D6ZLCF3-C3 | φ1.3mm/200mmにて | 廃番 | |
| M1241-IR20D6ZLCF4-C3 | φ3mm/450mmにて | 廃番 | |
| M1241-IR20D6ZLFF-C3 | φ24mm/3600mmにて | 廃番 | |
| M1241-IR20D6ZHSF-C3 | 650～1800℃ | φ3.7mm/1100mmにて | ￥223,200- |
| M1241-IR20D6ZHCF2-C3 | φ0.5mm/150mmにて | ￥223,200- | |
| M1241-IR20D6ZHCF3-C3 | φ0.7mm/200mmにて | ￥223,200- | |
| M1241-IR20D6ZHCF4-C3 | φ1.5mm/450mmにて | ￥223,200- | |
| M1241-IR20D6ZHFF-C3 | φ12mm/3600mmにて | ￥223,200- |
- 商品名
- シリコンウェハ温度測定用放射温度計
- カタログ品番
- M1241-IR20D6ZHSF-C3
- 価格
- 価格：245,520円 (税込)
- 数量
-
- 商品名
- シリコンウェハ温度測定用放射温度計
- カタログ品番
- M1241-IR20D6ZHCF2-C3
- 価格
- 価格：245,520円 (税込)
- 数量
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- 商品名
- シリコンウェハ温度測定用放射温度計
- カタログ品番
- M1241-IR20D6ZHCF3-C3
- 価格
- 価格：245,520円 (税込)
- 数量
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- 商品名
- シリコンウェハ温度測定用放射温度計
- カタログ品番
- M1241-IR20D6ZHCF4-C3
- 価格
- 価格：245,520円 (税込)
- 数量
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- 商品名
- シリコンウェハ温度測定用放射温度計
- カタログ品番
- M1241-IR20D6ZHFF-C3
- 価格
- 価格：245,520円 (税込)
- 数量
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■オプション
| 品 番 | 品 名 | 価 格 |
| M1241-MH300075 | 冷却ジャケット | ￥52,200.- |
|---|---|---|
| M1241-MH300077 | エアパージ | ￥22,500.- |
| M1241-MH300296 | リレーインターフェース | ￥11,700.- |
- 商品名
- 冷却ジャケット
- カタログ品番
- M1241-MH300075
- 価格
- 価格：61,600円 (税込)
- 数量
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- 商品名
- エアパージ
- カタログ品番
- M1241-MH300077
- 価格
- 価格：26,400円 (税込)
- 数量
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- 商品名
- リレーインターフェース
- カタログ品番
- M1241-MH300296
- 価格
- 価格：13,200円 (税込)
- 数量
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