商品詳細
シリコンウェハ温度測定用放射温度計
商品番号:M1241-IR20D6ZHCF3-C3
商品説明
■センサヘッド外形寸法図
■アンプユニット外形寸法図
■取付金具外形寸法(付属品)
■エアパージカラー外形寸法図(オプション)
■冷却ジャケット外形寸法図(オプション)
■内部配線図
センサヘッドのケーブルはあらかじめ配線されています。(3mケーブル)
電源と出力端子にケーブルを接続してご使用ください。
■共通仕様
品番 | M1241-IR20D6Zシリーズ |
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測定温度範囲 | 485~1800℃(機種による) |
測定波長 | 0.9μm |
測定精度 | ±(読取値の0.3%+2℃) (周囲温度23±5℃、放射率1.00、応答時間1秒にて) |
再現性 | ±(読取値の0.1%+2℃) |
応答時間 | 1ms(90%応答) |
測定視野範囲 | 300:1/100:1(90%応答) |
アナログ出力 | 4-20mA/0~20mA/0-5V/0-10V/熱電対J・K出力切替 |
信号処理 | ピークホールド/バレーホールド/アベレージング |
放射率補正 | 0.100~1.100 |
使用周囲温度 | センサヘッド:-40~85℃ ンプユニット0~85℃(レーザマーカ点灯時は~50℃) |
使用周囲湿度 | 10~95%RH(結露なきこと) |
保護構造 | IP65(NEMA-4) |
材質 | センサヘッド:ステンレス アンプユニット:亜鉛ダイキャスト センサヘッドアンプ間ケーブル3m |
電源電圧 | 8-36VDC/max.160mA |
出力インピーダンス | 電流(ループ抵抗500Ω以下) 電圧(負荷インピーダンス100KΩ以上) 熱電対(20Ω) |
外形寸法 | センサヘッド:φ49.3×100mm(M48×1.5mm) アンプユニット:89 mm x 70 mm x 30 mm |
質量 | センサヘッド:約600g アンプユニット:約420g |
センサヘッド取付ナットと取付金具は付属です。
出力ケーブルは3-5mmのシールドケーブル等を別途ご用意ください。
熱電対出力使用時の精度は±2.5℃または±1%
製品改良のため、仕様の一部を予告なく変更する場合があります。ご了承ください。
■タイプ
品番 | 測定温度範囲 | 測定視野範囲 | 価格 |
M1241-IR20D6ZLSF-C3 | 485~1050℃ | φ7.3mm/1100mmにて | 廃番 |
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M1241-IR20D6ZLCF2-C3 | φ1mm/150mmにて | 廃番 | |
M1241-IR20D6ZLCF3-C3 | φ1.3mm/200mmにて | 廃番 | |
M1241-IR20D6ZLCF4-C3 | φ3mm/450mmにて | 廃番 | |
M1241-IR20D6ZLFF-C3 | φ24mm/3600mmにて | 廃番 | |
M1241-IR20D6ZHSF-C3 | 650~1800℃ | φ3.7mm/1100mmにて | ¥223,200- |
M1241-IR20D6ZHCF2-C3 | φ0.5mm/150mmにて | ¥223,200- | |
M1241-IR20D6ZHCF3-C3 | φ0.7mm/200mmにて | ¥223,200- | |
M1241-IR20D6ZHCF4-C3 | φ1.5mm/450mmにて | ¥223,200- | |
M1241-IR20D6ZHFF-C3 | φ12mm/3600mmにて | ¥223,200- |
■オプション
品 番 | 品 名 | 価 格 |
M1241-MH300075 | 冷却ジャケット | ¥52,200.- |
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M1241-MH300077 | エアパージ | ¥22,500.- |
M1241-MH300296 | リレーインターフェース | ¥11,700.- |