商品詳細
クリーンルーム用真空ガス充填シーラー
商品番号:CR-600
商品説明
●クリーン度1000クラス対応
●半導体や液晶の製造にはかかせない、クリーンルーム内での精密で再現性のある加工を可能にするシーラーです。
●温度コントロール機構(オンパル)標準装備です。
●集中排気ダクト用フランジを標準装備です。
●稼動部がお互いに摺れることのない構造なので、金属の微粉などが発生しない設計です。
●機械温度調整器搭載。
■特長
●内蔵ファンにより、本体内部の粒子を排気ファンに集塵し、ダクトから排出します。
●クリーン度の評価基準の説明
国際的なアメリカ連邦規格209Cに従ってクリーン度はサンプリング1CFM中の0.5μm以上の粒子の数をもって評価します。
■仕様
品番 | CR-600 | CR-600-10W |
タイプ | 片側加熱 | 両側加熱 |
電圧 | 200V | |
電力 | 3000/2500W | 3100W |
シール幅 | 10/5mm | 10mm |
シール長 | 600mm | |
質量 | 135kg | 130kg |
サイズ(mm) | 700×450×1105 | |
電源 | 単相AC200V | |
最大消費電力 | 2.5KW(5mmヒーター時)・3.0KW(10mmヒーター時) | |
電源コード | 1CT.2×3芯×5m 3Pプラグ付き、20A250V | |
エア源 | 外部配管(減圧弁内蔵)、接続:カプラーKK4S型(SMC)wp使用 | |
真空源 | 真空ポンプ内蔵(ダイヤフラム式・DA-60S) 総排気量 60L/min・到達圧力 21.3Pa(ポンプ単体でのカタログ値) | |
集中排気口 | 排気ダクトフランジ(内径150mmのダクトをユーザーにて用意) | |
ガス接続口 | カプラーKK4S(SMC)を使用 | |
制御方式 | 内蔵シーケンサ制御 | |
表示機能 | タッチパネル式(カウンター、脱気・ガスタイマー、加熱・冷却表示付き) アナログ真空計接点付き(0~100KPa) | |
起動スイッチ | 樹脂製フットスイッチ(黒) | |
非常停止スイッチ | 樹脂製フットスイッチ(赤) | |
シール方式 | インパルス方式 | |
加熱制御 | 温度センサーによるマイコン制御 | |
主な駆動部分 | エアシリンダ駆動 | |
シール加熱温度設定 | 60℃~200℃(オンパル制御) | |
シール冷却温度設定 | 40℃~150℃(オンパル制御) | |
過熱防止制御 | 温調器0~300℃にて設定 | |
トランス | ボビン構造(A種絶縁) | |
ノイズストローク | 0~75mm | |
付属品 | 工具・付属説明書・取扱説明書・検査表など | |
溶着フィルム厚 | 0.3mm以下(フィルムの合計厚さ) | 0.4mm以下(フィルムの合計厚さ) |