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参考画像

半導体材料ガス検知器(二酸化窒素)

商品番号：XD-303ND

販売価格：Mail

数量：

 


定電位電解式センサーを使用しているので、選択性はもちろん、超高感度です。

アルシン、ホスフィン、シラン等、多くの半導体材料ガスを検知します。

読み取りやすいデジタル表示です。

※アルカリ電池も使用可能

※測定対象ガスによって、品番が変わりますのでご注意ください。


型　　　式

ＸＤ－３０３

検知対象ガス下記に表示しております
検知原理定電位電解式
採気方式自動吸引式
指示精度フルスケール±１０％±1デジット
応答時間６０％応答４０秒
使用温度範囲０～４０℃
電　源単2マンガン電池6本
電池使用時間マンガン電池使用時の場合約20時間
サイズ（mm）W86×H175×D140
重　量約2.5㎏

品番

対象ガス

検知範囲
（ｐｐｍ）

最小目盛
（ｐｐｍ）

警報設定値
（ｐｐｍ）

ＸＤ－３０３NH

アンモニア

0～100

1

50

ＸＤ－３０３SH

モノシラン

0～25

0.1

5.0　※１

ＸＤ－３０３DCS

ジクロルシラン

0～25

0.1

5.0　※１

ＸＤ－３０３SD

二酸化硫黄

0～25

0.1

5.0　※2

ＸＤ－３０３AH

アルシン

0～1

0.01

0.20 ※2

ＸＤ－３０３AHL

0～0.25

0.05 ※2

ＸＤ－３０３PH

ホスフィン

0～1

0.01

0.30 ※2

ＸＤ－３０３BH

ジボラン

0～3

0.01

1.00 ※2

ＸＤ－３０３BHL

0～1

0.10 ※2

ＸＤ－３０３HSE

セレン化水素

0～3

0.01

1.00

ＸＤ－３０３GH

モノゲルマン

0～3

0.01

1.00

ＸＤ－３０３FL

フッ素

0～5

0.1

1.0 ※3

ＸＤ－３０３CL

塩素

0～5

0.1

1.0 ※3

ＸＤ－３０３ND

二酸化窒素

0～10

0.1

3.0 ※3

ＸＤ－３０３CLF3

三フッ化塩素

0～1

0.1

0.20 ※2

ＸＤ－３０３HCL

塩化水素

0～25

0.1

5.0　※１

ＸＤ－３０３HF

フッ化水素

0～10

0.1

3.0　※１

ＸＤ－３０３HBR

臭化水素

0～25

0.1

3.0　※１

※1 サービスレンジ ３０ｐｐｍまで表示
※2 サービスレンジ ３ｐｐｍまで表示
※3 サービスレンジ １５ｐｐｍまで表示

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