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参考画像

シリコンウェハ温度測定用放射温度計

商品番号：M1241-IR20D6ZHCF2-C3

販売価格：245,520円（税込）

数量：

 


●シリコンウェハ測定用の放射温度計です。
●測定波長0.9μm
●測定温度範囲485～1800℃
●高速応答1ms
●0.5mmの小スポット測定を実現
●2点レーザマーカで正確照準



■センサヘッド外形寸法図


■アンプユニット外形寸法図


■取付金具外形寸法(付属品）


■エアパージカラー外形寸法図（オプション）


■冷却ジャケット外形寸法図（オプション）


■内部配線図
センサヘッドのケーブルはあらかじめ配線されています。(3mケーブル)
電源と出力端子にケーブルを接続してご使用ください。


■共通仕様

品番M1241-IR20D6Zシリーズ
測定温度範囲485～1800℃（機種による)
測定波長0.9μｍ
測定精度±（読取値の0.3%＋2℃）
（周囲温度23±5℃、放射率1.00、応答時間1秒にて）
再現性±（読取値の0.1%＋2℃）
応答時間1ms(90%応答)
測定視野範囲300:1/100:1(90%応答)
アナログ出力4-20mA／0～20mA／0-5V／0-10V／熱電対J・K出力切替
信号処理ピークホールド/バレーホールド/アベレージング
放射率補正0.100～1.100
使用周囲温度センサヘッド：-40～85℃ 
ンプユニット0～85℃(レーザマーカ点灯時は～50℃)
使用周囲湿度10～95%RH（結露なきこと）
保護構造IP65(NEMA-4)
材質センサヘッド：ステンレス
アンプユニット：亜鉛ダイキャスト
センサヘッドアンプ間ケーブル3m
電源電圧8-36VDC/max.160ｍA
出力インピーダンス電流（ループ抵抗500Ω以下）
電圧（負荷インピーダンス100KΩ以上）
熱電対（20Ω）
外形寸法センサヘッド：φ49.3×100mm(M48×1.5mm）
アンプユニット：89 mm x 70 mm x 30 mm
質量センサヘッド：約600g
アンプユニット：約420g

センサヘッド取付ナットと取付金具は付属です。
出力ケーブルは3-5mmのシールドケーブル等を別途ご用意ください。
熱電対出力使用時の精度は±2.5℃または±1%
製品改良のため、仕様の一部を予告なく変更する場合があります。ご了承ください。

■タイプ

品番測定温度範囲測定視野範囲価格
M1241-IR20D6ZLSF-C3485～1050℃φ7.3mm/1100mmにて廃番
M1241-IR20D6ZLCF2-C3φ1mm/150mmにて廃番
M1241-IR20D6ZLCF3-C3φ1.3mm/200mmにて廃番
M1241-IR20D6ZLCF4-C3φ3mm/450mmにて廃番
M1241-IR20D6ZLFF-C3φ24mm/3600mmにて廃番
M1241-IR20D6ZHSF-C3650～1800℃φ3.7mm/1100mmにて￥223,200-
M1241-IR20D6ZHCF2-C3φ0.5mm/150mmにて￥223,200-
M1241-IR20D6ZHCF3-C3φ0.7mm/200mmにて￥223,200-
M1241-IR20D6ZHCF4-C3φ1.5mm/450mmにて￥223,200-
M1241-IR20D6ZHFF-C3φ12mm/3600mmにて￥223,200-

品　　番 品　　名 価　　格 　
M1241-IR20D6ZHSF-C3 シリコンウェハ温度測定用放射温度計 245,520円 (税込)

品　　番 品　　名 価　　格 　
M1241-IR20D6ZHCF2-C3 シリコンウェハ温度測定用放射温度計 245,520円 (税込)
M1241-IR20D6ZHCF3-C3 シリコンウェハ温度測定用放射温度計 245,520円 (税込)
M1241-IR20D6ZHCF4-C3 シリコンウェハ温度測定用放射温度計 245,520円 (税込)

品　　番 品　　名 価　　格 　
M1241-IR20D6ZHFF-C3 シリコンウェハ温度測定用放射温度計 245,520円 (税込)



■オプション

品　　番品　　名価　　格
M1241-MH300075冷却ジャケット￥52,200.-
M1241-MH300077エアパージ￥22,500.-
M1241-MH300296リレーインターフェース￥11,700.-

品　　番 品　　名 価　　格 　
M1241-MH300075 冷却ジャケット 61,600円 (税込)
M1241-MH300077 エアパージ 26,400円 (税込)
M1241-MH300296 リレーインターフェース 13,200円 (税込)

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※商品のデザイン、仕様、外観、価格は予告なく変更する場合がございます。
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※当社で販売実績がない商品の修理はお受けしておりません。
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